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本文標題:掃描電子顯微鏡匯聚透鏡成像系統(tǒng)

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來源：未知發(fā)布時間：2014-4-7 12:43:42

掃描電子顯微鏡匯聚透鏡成像系統(tǒng)

電磁透鏡熱發(fā)射電子需要電磁透鏡來成束，所以電磁透鏡必不可少。

通常會裝配兩組匯聚透鏡和成像系統(tǒng)。

匯聚透鏡用匯聚電子束，裝配在真空柱中，位于電子槍之下。通常有

一組匯聚光圈與之相配。但匯聚透鏡匯聚電子束，與成像會焦無關。

物鏡為真空柱中最下方的一個電磁透鏡，它負責將電子束的焦點匯聚

到樣品外部。

成像系統(tǒng)電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作

用，會產(chǎn)生次級電子、背散射電子、歐革電子以及一系列信號。

所以需要不同的探測器譬如次級電子探測器、X射線能譜分析儀等來

區(qū)分這些信號以獲得所需要的信息。

雖然射線信號不能用于成像，但仍然將射線分析系統(tǒng)劃分到成像系統(tǒng)

中�？呻娮犹綔y器代替，但需一個偏壓電場以篩除次級電子。

光學顯微鏡成像原理比較的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品

，在樣品表面激發(fā)出次級電子，次級電子的多少與電子束入射角有關

與樣品結構有關。