顯微鏡中掃描式電子顯微鏡的結(jié)構(gòu) 

掃描電子顯微鏡于20世紀(jì)60年代問(wèn)世，其工作原理是由電子槍發(fā)射

的精細(xì)聚焦電子束經(jīng)兩級(jí)聚光鏡、偏轉(zhuǎn)線圈和物鏡射到樣品上。

掃描樣品表面并激發(fā)出次級(jí)電子，次級(jí)電子的產(chǎn)生量與電子束入射

角有關(guān)，即與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)。

次級(jí)電子經(jīng)探測(cè)體收集后，由閃爍器轉(zhuǎn)換為光信號(hào)，再經(jīng)光電倍增

管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來(lái)控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度，顯示出與

電子束同步的掃描圖像。

電子顯微鏡圖像為立體形象，反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。  

掃描電鏡的標(biāo)本在檢驗(yàn)前，需進(jìn)行固定、脫水處理，再?lài)娡可弦粚?/div>

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