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本文標(biāo)題:電子顯微鏡的.電磁透鏡的像差與消除

信息分類:站內(nèi)新聞 新聞來源:未知 發(fā)布時間:2014-5-3 13:04:04
電子顯微鏡的.電磁透鏡的像差與消除

電磁透鏡的像差與消除是指電磁透鏡中的像差類似于光鏡中的像差
,其產(chǎn)生原理一樣,故描述當(dāng)中常常沿用光線一詞來喻作電子線束
。電鏡的像差也可以分成幾類,只是所采用的相應(yīng)消除措施與光鏡
各不相同。
球差  由于成像的遠(yuǎn)軸光線與近軸光線的光路不同, 致使遠(yuǎn)軸光
線與近軸光線在光程上產(chǎn)生了差異,造成所形成影像的焦點(diǎn)位置出
現(xiàn)了前后不同,這一原因所引起的像差稱為球面像差,又稱球差。

當(dāng)入射光與光軸發(fā)生傾斜時也會加大透鏡的球差。所以電磁透鏡和
光學(xué)透鏡一樣也常常加有透鏡光闌,選用較小的孔徑角,用以遮擋
遠(yuǎn)軸光線,著重利用近軸光線成像,從而降低球差帶來的影響。

此外加裝電子槍和電子束的傾斜校正線圈,也可以有助于消除或減
少球差.
衍射像差  光線遇到小孔或小障礙物時會產(chǎn)生繞向前進(jìn),這種衍射
效應(yīng)所導(dǎo)致的像差稱為衍射像差。

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