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本文標題:電子顯微鏡掃描電鏡的結構和工作原理
信息分類:站內新聞 新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-5-6 16:46:25
電子顯微鏡掃描電鏡的結構和工作原理
電子顯微鏡掃描電鏡的鏡筒包括電子槍、聚光鏡、物鏡及掃描系統(tǒng)
。其作用是產生很細的電子束，并且使該電子束在樣品表面掃描，
同時激發(fā)出各種信號。
電子顯微鏡電子信號的收集與處理系統(tǒng)在樣品室中，掃描電子束與
樣品發(fā)生相互作用后產生多種信號，其中包括二次電子、背散射電
子、射線、吸收電子、電子等。
電子顯微鏡在上述信號中，最主要的是二次電子，它是被入射電子
所激發(fā)出來的樣品原子中的外層電子，產生于樣品表面以下區(qū)域，
其產生率主要取決于樣品的形貌和成分。
電子顯微鏡通常所說的掃描電鏡像指的就是二次電子像，它是研究
樣品表面形貌的最有用的電子信號。
電子顯微鏡檢測二次電子的檢測器的探頭是一個閃爍體，當電子打
到閃爍體上時產生光，這種光傳增管信號轉變信號，再放大信號轉
變成電壓最后被送柵極。
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